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第八章 说好光刻机咋和材料杠上了（第2页）

【光刻胶：微观电子束胶。高灵敏度，拥有LER低限特性。】

【光源：采用电子自由激光技术，采用预脉冲方案。能显著提升光源转换效率，并增加光源功率。】

【备注：由于采取1纳米制程方案，故需使用特殊室温超导材料LK99。化学式Pb10Cu（PO4）6O。本质为掺杂了部分铜离子的铅磷灰石结晶体。特性为，在127摄氏度的情况下，该材料将拥有超导特性。】

嗯？？？

相关内容出现，叶辰的眼睛猛然瞪大！！！

啥玩意？！

刚才自己是不是听错了什么？！

“室温超导。。。。。这系统给出的魔改方案！”

“竟然还额外附送了一个室温超导的材料？”

而且，不仅仅是材料而已！

包括化学式，学名，特性。。。

甚至，就连如何制备这种材料的方法！

也全都帮着一块搞定了！

并且由于系统的特性。

叶辰第一时间兑换了这种方案。

而叶辰的大脑中。

有关光刻机的相关知识，更是触类旁通！

“嘶。。。。”

深吸了一口气。

此时此刻，叶辰有点麻了！

没想到，自己不过是参考一张光刻机的设计草图。

怎么误打误撞！

竟然还把室温超导材料，都给解锁了？！

作为一名穿越者。

叶辰可是太清楚，室温超导材料的出现！

对龙国，甚至全世界而言究竟拥有怎样的意义了！

“这特么。。。。”

“不过是造个光刻机！副产物居然还能顺手推动科技大爆发？！”

“这上哪说理去！！！”

1纳米EUV光刻机的制造流程并不困难。

真正的难点在于，刚需LK99这种材料。